環境掃描電子顯微鏡介紹(PPT 79頁)

環境掃描電子顯微鏡
普通高真空掃描電鏡（CSEM）
E-T二次電子探頭
環境掃描電鏡
多級壓差光闌
在環境掃描電鏡中如何維持高真空掃描電鏡的高分辨率的特性？
電子在氣體中的散射：
按m值的高低將電子的散射分成三個部分：
電子束的束斑尺寸由散射的電子使束斑展寬的程度決定，
電子束的束流為散射的電子、未散射的電子的總和。
既使在部分散射區圖像的分辨率仍由未散射的束電子部分決定，
而散射的束電子部分隻是背底噪音，並由此引起束流的降低。
二、氣體的作用
三、二次電子探測器
環境二次電子探測器：
氣體二次電子探頭(GSED)
新型氣體二次電子探頭LFGSED
ESD探測器成像
四、X射線能譜分析：
電子束同時也激發樣品室中的氣體產
生氣體元素的特征X射線。
人體組織
動植物表麵
昆蟲(活體)
牙膏
微生物
NaCl溶解-結晶過程
加熱台
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