微機械光開關的設計與製造畢業論文(pdf 54頁)

目錄
第一章緒論l
11研究光開關的意義1
12光開關的現狀1
121光開關的分類與現狀1
122光開關的應用及前景分析3
13本論文的研究目的和研究內容4
第二章光開關簡介6
21光開關的主要性能參數6
22常見的機械式光開關7
第三章結構設計和原理9
31結構設計與考慮9
311光開關的光束耦合過程及其影響因素9
312 M OMS光開關的設計考慮和光學原理1l
32各光電元件設計與分析l 2
33器件結構1 7
34光路模擬和誤差分析1 7
341光路模擬和誤差1 7
342敏感性和誤差分析1 9
第四章工藝設計與製造2 9
41工藝流程設計2 9
42激光焊接工藝2 9
42。1激光焊接原理2 9
422激光焊接技術3 l
43密封封裝工藝3 4
第五章特性測試與認證3 6
51光學與電學性能的測試3 6
511光開關的驅動和狀態識別3 6
512重複性測試3 6
513開關速度測試3 7
52 M OM S光開關的產品性能3 7
53可靠性試驗4 0
第六章總結4 2
參考文獻4 4
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