量測係統分析教材(PDF 83頁)

量具與量測係統
? 量具(量測儀器):
--用來獲得量測結果的裝置
--Ex: OMS (cell gap), Elliposo meter (film thickness)
? 量測係統:
--包括操作程序、作業環境、量具、樣本、軟件與人員等用以
量測特性數據過程的組合
--監控製程的眼睛
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