CVD金剛石(膜)製備技術及其應用進展(pdf 7頁)

CVD金剛石(膜)製備技術及其應用進展內容提要：
化學氣相沉積(CVD)方法是金剛石(膜)製備的主流技術，經過多年的發展，已從最初的微米金剛石膜發展到納米
金剛石膜，至目前高質量的單晶金剛石，應用領域不斷擴展。除了工業和民用領域外，納米金剛石膜在MEMS／NEMs、生物
醫學的應用進展引起業界關注，其中大尺寸單晶金剛石的製備是推動這些應用的關鍵。本文分析了MPCVD金剛石成膜特
點，討論了現階段CVD金剛石膜商業化推廣應用的製約因素，展望了今後金剛石膜的發展前景。

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