微慣性技術發展現狀與未來趨勢講義(PPT 39頁)

微慣性技術發展現狀與未來趨勢
MEMS簡介
微機電係統的尺寸
MEMS的特點
微慣性器件類別
微加速度計、微陀螺儀外觀
微機電加速度計發展
懸臂梁式加速度微傳感器結構圖
矽梁結構圖
2.電容式加速度微傳感器
三軸式電容式加速度微傳感器
3.諧振式加速度傳感器
4.隧道式加速度微傳感器
5.伺服式加速度微傳感器
微機電加速度計應用
4.安全防撞係統
MEMS在汽車中的應用
提高電梯車輛舒適性
1、 微機械陀螺儀基本概念
1.1 基本概念及組成
1.2 微機械陀螺特點
1.3 微機械陀螺分類
4、微機械陀螺發展概述
微機械陀螺國內外研究現狀
5、微機械陀螺應用
應用舉例
應用前景展望

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