真空係統設計培訓課件(PPT 124頁)

之一：真空技術的曆史、現在與將來
之二：真空工程理論基礎
之三：科技論文的檢索、撰寫與發表
之四：清潔真空獲得技術
之五：真空係統設計
之六：真空係統設計輔助軟件的使用
之七：真空測量
之八：真空裝置與係統的檢漏
之九：大型真空裝置的監測與故障診斷
之十：專家座談
之十一：真空獲得技術
之十二：現代表麵與薄膜技術
之十三：真空材料與真空衛生
之十四：真空技術應用及計算實例
磁控濺射鍍膜機
金屬蒸汽真空弧源注入機
課程內容
1.真空係統的組成
1.1 真空係統的概念
1.2 真空係統的組成元件
1.3 真空係統示意圖
1.4 高真空係統
1.5 的基本內容
2.真空技術基本方程
2.1 真空係統的最主要性能參數極限真空度和有效抽速
2.2 流導的定義
2.3 真空技術基本方程
2.4 真空技術基本方程在中的意義
3.真空係統的設計計算
3.1 選主泵
3.2 配泵
3.3 儲氣罐和維持泵
羅茨泵旋片泵維持泵
3.4 真空係統設計中應該注意的問題
3.6 真空係統的結構設計
真空係統組成元件
1 真空閥門
1.1 概 述
真空閥門在真空係統中的作用
真空閥門的分類
1.2 真空閥門的幾種典型結構
隔膜閥
真空球閥
真空蝶閥
插板閥
擋板閥
翻板閥
電磁閥
針閥
超高真空閥
玻璃真空活塞
無油玻璃真空閥
2 捕集器
2.1 擋油帽
2.2 機械捕集器
概述
機械捕集器的型式如表4
機械捕集器的設計原則及其典型結構
在設計障板時應注意以下原則:
典型的幾種機械捕集器的結構如圖35至圖38所示。
2.3 冷凝捕集器
冷阱的典型結構
圖39是一種長效冷凝捕集器。
圖40的結構具有較大流導,可防止蒸氣分子向上蠕動。
圖41是一種高效冷凝捕集器。
圖44是一種複合式冷阱。
圖45是中心帶有液氮罐的冷阱
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