某公司新進人員培訓流程教材(PPT 33頁)

一、車間簡介
二、進入無塵室注意事項
三、生產流程、製程及品質異常
相關製程原理的示意圖
塗布塗布目的:通過將一種感光物質(光阻)均勻地塗布於玻璃表麵
上產生不良情況:光阻厚度不均/塗布不良主要控製參數：塗布速度、
抽泵頻率、抽泵強度、傳送速度主要品質異常：塗布針孔、塗布箭影、塗布氣泡、光阻回濺
軟烤軟烤目的:是將玻璃上光阻層大部分溶劑去除,
並使光阻由原來的液態經過軟烤之後而成為故態薄膜,
以加強光阻層對玻璃表麵的附著能力硬烤硬烤目的:將所有光阻中的溶劑蒸發去除,
改進光阻蝕刻和離子布置的抵抗力,改進光阻表麵的附著力,聚合作用和穩定光阻,
光阻流動填滿針孔注意事項:傳送速度/烘烤溫度/烘烤時間
曝光曝光目的:將光罩上的圖案轉移到光阻上光照的部分被去除注意事項:
光罩對位/曝光能量/曝光時間產生不良情況:對位異常/偏離量/固定點
顯影顯影目的:顯影液溶解光阻軟化的部分,將光阻層所轉移的圖形經顯影步驟而顯
現出注意事項:傳送速度/藥液溫度/藥液濃度配比/藥液電導率/噴洗壓力產生不良情況:
顯影不淨（目視白色條狀,2D為彩色物質）/過顯/光阻殘留（因光罩上粘有髒汙等其他物質所導致）
蝕刻蝕刻目的:利用蝕刻溶劑與薄膜間所進行的化學反應,去除未被光阻覆蓋的部分
(ITO/METAL)而達到蝕刻目的注意事項:時間/藥液溫度/藥液濃度產生不良情況:ITO、AL蝕刻異常
剝膜剝膜目的:利用剝膜液將蝕刻後覆蓋在金屬線路上的光阻去除注意事項:
藥液濃度/時間/藥液溫度產生不良情況:剝膜不淨/贓汙
四、MFG處境
五、異常反饋機製
郵件反饋
電話反饋
其他反饋
六、新進人員學習周報
七、新人培訓及參考資料
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