幹膜培訓講義(PPT 32頁)

幹膜培訓講義
第一部分 幹膜基本知識
第三部分內層各工段常見問題及控製
第四部分內層返工板的控製
第五部分內層幹菲林常見缺陷及分析
第五部分 結束語
1、幹膜結構
2、幹膜的主要成分
粘結劑(Binder, Epoxy-Acrylate Oligomer)
單體(Monomer，Acrylic Special Monomer)
光引發劑(Photo-Initiator)
染料(Dye)
增塑劑(Plasticizer)
增粘劑(Adhesion Promoter)
3、幹膜的反應機理
幹膜在曝光(Exposure)過程中，波長在310~430nm的紫外光
光子,將其本身的能量(hν)傳寄給光引發劑,使其激活產生
自由基，自由基與單體發生交聯反應(Cross-Linking) ,使
光阻膜(Photoresist)由線形結構轉化為立體交叉結構,將可
溶性的-COOH官能團包埋在立體結構的中間,在堿性碳酸鈉溶
液中不會溶解,達到圖形轉移的目的。
4、HT-312幹膜的基本性能
內層幹膜使用的長興幹膜是HT-312幹膜，它有以下一些特性：
厚度：30±2μm
顏色：曝光前綠色
曝光後藍色
附著力：25μm（曝光能量：7級/21級曝光尺）
解像度：LW/LS= 25μm/ 25μm
（曝光能量：7級/21級曝光尺)

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