刻蝕培訓講義(PPT 47頁)

主要內容
刻 蝕 培 訓
生產線工藝流程
刻蝕的種類
什麼是等離子體？
等離子體的應用
等離子體的產生
等離子體刻蝕原理
等離子體刻蝕反應
等離子體刻蝕工藝
什麼是濕法刻蝕
HF/HNO3體係腐蝕機理
HF/HNO3體係腐蝕機理特點
HF/HNO3體係兩區域腐蝕機理特點
HF/HNO3體係腐蝕液的選擇
濕法刻蝕特點
Rena水平刻蝕清洗機1
Rena各部件功能介紹-1
Rena水平刻蝕清洗機2
Rena各部件功能介紹-2
Rena水平刻蝕清洗機各槽分布圖
Rena各槽功能介紹
一、刻蝕槽
刻蝕槽溶液流向圖
刻蝕槽液麵
刻蝕槽矽片流入吸附刻蝕液原理
刻蝕槽前後矽片狀態比較
Rinse 1
Alkaline rinse
堿槽溶液流向圖（槽截麵）
Rinse 2
HF bath
氫氟酸槽溶液流向圖（槽截麵）
Rinse 3
Dryer 2
濕法刻蝕相對等離子刻蝕的優點
濕法刻蝕相對等離子刻蝕的缺點
檢驗方法
檢驗原理
檢驗操作及判斷

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