AD898培訓手冊(PDF 31頁)

目 錄
說 明.3
AD898機器功能的設定及檢查4
1 機台水平.4
2 Bond Head 光學鏡頭水平4
3 Wafer 光學鏡頭水平.5
4 Work Holder 水平.5
5 Track limit sensor旗仔位置.6
6 Bond Head Y 軸水平.7
7 Bond Arm 平坦度8
8 Bond Head Z感應器旗仔位置8
9 Bond Head Y感應器旗仔位置9
10 Bond Optics Table 平行度.10
..............................