培訓係列之真空測量技術基礎(PPT 103頁)

主要內容
1真空測量概述
1.1什麼是真空測量
1.2真空度的表征及單位
1.3真空計分類
1.4真空計測量範圍
1.5真空測量特點
1.6選擇真空計原則
2全壓力測量
2.1U型管真空計
2.2彈性元件真空計
2.3壓縮式真空計
2.4熱傳導真空計
2.5熱陰極電離真空計
2.6冷陰極電離真空計
2.7電容式薄膜真空計
2.8放射性電離真空計
2.9磁懸浮轉子真空計
3分壓力測量
3.1分壓力測量概述
3.2四極濾質器
3.3射頻質譜計
3.4識譜技術
4真空計校準

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