光刻基礎工藝培訓教材(PPT 49頁)

光刻基礎工藝培訓
一、光刻工序的工藝目的及要求
二、光刻工序使用化學材料
三、光刻工藝流程
3.1受入
3.2前處理
3.3、光刻膠的塗敷及前烘
光刻膠
光刻膠的性能指標
3.4、對位曝光
對準法則
3.5顯影及後烘
顯影的後烘
3.6 顯影檢驗
3.7刻蝕（亦稱腐蝕）
3.8光刻膠的去除
3.9 腐蝕後檢、去膠後檢驗
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