傳感器的加工工藝培訓教材(PPT 30頁)

傳感器的加工工藝
腐蝕工藝
濕法腐蝕工藝
幹法腐蝕工藝
表麵犧牲層技術
薄膜工藝
化學氣相沉積
真空蒸鍍
濺射成膜工藝
光刻技術
深紫外光刻
電子束光刻
X射線光刻
壓印光刻
離子注入技術
LIGA技術
輔助工藝
封裝技術
封裝層次結構
質量控製
典型材料的加工工藝
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