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潔淨室區的基本要求與測試維護(ppt 49頁)

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TPM生產維護
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潔淨室, 基本要求, 測試, 維護
潔淨室區的基本要求與測試維護(ppt 49頁)內容簡介

一、空氣淨化概述
二、YBB標準要點
三、潔淨室(區)的基本要求
四、潔淨室(區)的環境控製

一、空氣淨化概述
空氣淨化主要的過程一是利用過濾器有效地控製送入室內的全部空氣的潔淨度,由於細菌都會依附在微粒上,微粒過濾同時也濾掉了細菌;
二是利用合理的氣流組織排除已經發生的汙染,由送風口送入潔淨空氣,使室內產生的微粒和細菌被潔淨空氣稀釋後強迫其由回風口進入係統的回風管路,在空調設備的混合段和從室外引入的經過過濾的新風混合,再經過進一步過濾後又進入室內,通過反複的循環就可以把汙染控製在一個穩定的水平上,這個水平就應該低於相應的潔淨度級別;
三是通過調整,使不同級別潔淨室室內的空氣靜壓大於5帕(包括與非潔淨區),與室外大氣大於10帕,防止外界汙染或交叉汙染從門或各種縫隙部位侵入室內。


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