防靜電基礎知識講義(ppt 29頁)

防靜電基礎知識講義目錄：
一、靜電產生的原理
二.、靜電電荷產生的種類
三、靜電電荷對微電子工業的影響
四、半導體的靜電敏感度

防靜電基礎知識講義內容摘要：
靜電電荷對微電子工業的影響:
　　1. 微粒汙染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電後就很容易沉積灰塵.
　　2. ESD(ESD中文意思是靜電電壓放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路.
　　3. 三種擊穿現象:
1>. 熱擊穿: P-N破壞
2>. 介電擊穿: 氧化層的破壞
3>. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路
靜電放電的三種型式:
　　1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.
　　2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞.
　　3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 .

..............................