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集成電路製造工藝原理(doc 71)

所屬分類：
工藝技術
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318 KB
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相關資料：
集成電路, 電路製造, 製造工藝, 工藝原理
集成電路製造工藝原理(doc 71)內容簡介

課程介紹及緒論2學時

第一章襯底材料及襯底製備6學時

第二章外延工藝8學時

第三章氧化工藝7學時

第四章摻雜工藝12學時

第五章光刻工藝3學時第六章製版工藝3學時

第七章隔離工藝3學時

第八章表麵鈍化工藝5學時

第九章表麵內電極與互連3學時

第十章 器件組裝
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