MEMS磁芯螺線管微電感的製作工藝探討(pdf 6頁)
MEMS磁芯螺線管微電感的製作工藝探討(pdf 6頁)內容簡介
MEMS磁芯螺線管微電感的製作工藝探討內容提要：
目前螺旋型微電感作為一種集成電感、廣泛應用於集成電路中’但它具有幾個缺點,-它需要引線從器件裏麵引到外麵’這樣就增加了不必要的寄生電容(.+/0-對於相同匝數的電感’其尺寸遠遠大於其它類型的電感/1-其產生的磁通方向垂直於基底’這將幹擾垂直方向的集成器件
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目前螺旋型微電感作為一種集成電感、廣泛應用於集成電路中’但它具有幾個缺點,-它需要引線從器件裏麵引到外麵’這樣就增加了不必要的寄生電容(.+/0-對於相同匝數的電感’其尺寸遠遠大於其它類型的電感/1-其產生的磁通方向垂直於基底’這將幹擾垂直方向的集成器件
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