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PVD設備及工藝簡介(PPT 77頁)

所屬分類:
設備管理
文件大小:
3061 KB
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相關資料:
工藝簡介
PVD設備及工藝簡介(PPT 77頁)內容簡介
PVD設備簡介


真空測量
真空檢漏
PVD工藝簡介
PVD相關概念定義
真空度量單位
磁控濺射
鉑陽生產線相關工藝簡介
合金靶的濺射
金屬氧化物的濺射
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