微機械慣性傳感器檢測平台的設計與應用(doc 10頁)

一、 微機械振動陀螺儀的簡要工作原理
二、 微電容檢測技術
三、 檢測平台的係統構成及工作原理

隨著科學技術的發展，許多新的科學領域相繼湧現，其中微米/納米技術就是諸多領域中引人注目的一項前沿技術。20世紀90年代以來，繼微米/納米技術成功應用於大規模集成電路製作後，以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎的各種微傳感器和微機電係統（MEMS）脫穎而出，平均年增長率達到30%。微機械陀螺是其中的一個重要組成部分。目前，世界各個先進工業國家都十分重視對MMG的研究及開發，投入了大量人力物力，低精度的產品已經問世，正在向高精度發展。
一、 微機械振動陀螺儀的簡要工作原理
陀螺係統組成見圖1，它由敏感元件、驅動電路、檢測電路和力反饋電路等組成。在梳狀靜電驅動器的差動電路上分別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓，由於交變的靜電驅動力矩的作用，質量片在平行於襯底的平麵內產生繞驅動軸Z軸的簡諧角振動。當在振動平麵內沿垂直於檢測軸的方向（X方向）有空間角速度Ω輸入時，在哥氏……

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