稀有氣體回收裝置使用手冊(DOC 28)
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稀有氣體回收裝置使用手冊(DOC 28)內容簡介
1. 引言....3
2. 總述....4
3. 安全措施的說明....5
4. 技術維護的種類和周期性....6
5. 技術維護的順序....7
5.1 固定的技術維護的順序....7
5.2 周期性的技術維護的順序....8
5.3 不取出絕熱材料的情況下對裝置設備進行氣密性試驗....10
5.4 吸附器AP16的維護順序....24
5.5 焙燒爐AP5和氣體再淨化裝置AP18的維護順序....25
附錄A....26
附錄Б....27
..............................
2. 總述....4
3. 安全措施的說明....5
4. 技術維護的種類和周期性....6
5. 技術維護的順序....7
5.1 固定的技術維護的順序....7
5.2 周期性的技術維護的順序....8
5.3 不取出絕熱材料的情況下對裝置設備進行氣密性試驗....10
5.4 吸附器AP16的維護順序....24
5.5 焙燒爐AP5和氣體再淨化裝置AP18的維護順序....25
附錄A....26
附錄Б....27
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