矽片自旋轉磨削工藝規律研究(DOC 37頁)

1 緒論....1
1.1 前言....1
1.2矽片超精密磨削的現狀....1
1.2.1國外現狀....1
1.2.2國內現狀....2
1.3矽片超精密磨削的發展趨勢....3
1.4 矽片自旋轉磨削的原理....4
1.5 本文研究的主要內容....5
2 矽片自旋轉磨削加工的實驗設計....6
2.1 實驗設備的介紹....6
2.2 工件的介紹....6
2.3 砂輪的選擇....8
2.4 工藝參數的選擇....9
2.4.1砂輪軸向進給的速度....9
2.4.2砂輪的轉速....10
2.5 檢測方法和設備....10
2.6 本章小結....12
3 磨削參數對磨削力的影響的試驗研究....13
3.1 磨削工藝參數對磨削力的影響....13
3.1.1磨粒粒徑對磨削力的影響....13
3.1.2砂輪進給速度對磨削力的影響....13
3.1.3砂輪轉速對磨削力的影響....14
3.2 建立磨削力經驗公式....14
3.2.1 角正回歸理論....14
3.2.2 磨削力的角正回歸法建模....15
3.3 本章小結....16
4 磨削參數對矽片表麵質量的影響的試驗研究....17
4.1 磨削工藝參數對磨削後矽片表麵粗糙度的影響....17
4.1.1磨粒粒徑對矽片表麵粗糙度的影響....17
4.1.2砂輪進給速度對矽片表麵粗糙度的影響....18
4.1.3砂輪轉速對矽片表麵粗糙度的影響....20
4.2 磨削參數對磨削後矽片表麵形貌的影響....20
4.2.1磨粒粒徑對矽片表麵形貌的影響....20
4.2.2砂輪進給速度對矽片表麵形貌的影響....22
4.2.3砂輪轉速對矽片表麵形貌的影響....24
4.3 本章小結....26
結論....27
參考文獻....29
致謝....31

..............................