真空獲得設備講義(PPT 70頁)

真空獲得設備
一、引論
2）氣體捕集泵：吸附泵；低溫泵。
表1－1 各種真空 泵的工作壓 力範圍
真空泵在真空係統中的作用
高真空抽氣係統原理流程圖
二、液環式真空泵
能量轉換2
2.2 液環泵的基本類型與結構
內部進氣口和排氣口的改進( * 最重要的改進)
錐體泵：采用上部進氣和下部排氣的結構
四、旋片式真空泵
4.2旋片泵的工作原理與結構特點
旋片泵工作原理圖
圖4－2 2X型旋片泵結構簡圖
圖4－6 雙級泵結構示意圖
氣鎮閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設置的。
圖4－7 氣鎮閥結構
五、滑閥式油封機械泵
5.2 滑閥泵的工作原理和結構特點
5.2.2 結構特點
圖5－3滑閥泵的三種結構形式
圖5－4 雙缸滑閥泵結構
圖5－5雙缸滑閥泵的平衡
六、羅茨式真空泵
6.2羅茨泵的工作原理及其結構特點
圖6-2 羅茨泵的剖麵示意圖
圖6-3 羅茨泵的旁路溢流閥結構示意圖
圖6-6 氣冷式羅茨泵原理圖
七、油擴散泵
7.2油擴散泵的工作原理
圖12－2油擴散泵的抽氣過程示意圖
圖12－5 擴散泵體外形圖
八、油擴散噴射泵
圖13－1 多級噴嘴抽氣原理圖
圖13－4 小型雙級油擴散噴射泵結構圖
圖13－5帶噴射級的油擴散噴射泵結構
九、低溫泵
9.2 低溫泵的抽氣原理和分類
圖14－2 低溫冷凝泵
圖14－3普通低溫泵
圖14－4 連續流動式低溫泵
圖14－5 小型製冷機低溫泵
圖14－10 典型低溫泵的布置
圖14－11 一種窄泵結構
圖14－12 ＣＲＹＯ－Ｕ12Ｈ型低溫泵結構
十、濺射離子泵
10.2 濺射離子泵的工作原理 10.2.1 濺射離子泵的結構
10.2.2 泵內的物理過程
圖15－3濺射離子泵抽氣機理示意圖
十一、其他類型真空泵
圖16－4 外冷式吸附泵結構示意圖
11.2鈦升華泵
圖16－5鈦升華泵的工作原理
11.3電離升華泵
11.4非蒸散型吸氣泵
圖16－13 鋯鋁泵結構

..............................