太陽電池多晶矽錠生產工藝技術原理簡介(PPT 40頁)

一、引言
二、多晶爐內熱場與矽錠的組織結構
三、定向凝固時矽中雜質的分凝
四、定向凝固矽晶體生長工藝方法
五、熱交換法多晶爐型
六、熱交換法工藝討論
七、結晶爐結構類型的選擇
八、多晶矽片的高效率、高質量生產方向
太陽電池多晶矽錠生產工藝技術原理簡介
二、多晶矽錠的組織結構與結晶爐熱場
雜質元素和缺陷沿矽錠高度的分布
晶體生長的界麵穩定性
實際長晶時熱量和質量的混合傳輸
ALD爐的結構
典型結晶生長周期的參數
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