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半導體製造工藝課件(PPT 41頁)

所屬分類：
工藝技術
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半導體製造, 製造工藝, 工藝課
半導體製造工藝課件(PPT 41頁)內容簡介
4.1　引言
4.2　二氧化矽膜的性質
4.3　二氧化矽膜的用途
4.4　熱氧化原理
4.5　氧化設備
4.6　氧化膜的質量控製
4.7　氧化工藝模擬

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