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半導體製造工藝培訓課程(PPT 28頁)

所屬分類：
工藝技術
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840 KB
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半導體製造, 製造工藝, 工藝培訓, 培訓課程
半導體製造工藝培訓課程(PPT 28頁)內容簡介
3.1　引言
3.2　汙染物雜質的分類
3.3　清洗方法概況
3.4　常用清洗設備——超聲波清洗設備
3.5　質量控製
1.矽片表麵的平行光束檢查
2. 400倍暗場顯微鏡檢查
3.出水電阻率檢查
4. MOS結構的高頻C-V測試檢查
5. CVD二氧化矽膜檢測法

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