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體矽微加工技術培訓教材(PPT 52頁)

所屬分類:
工藝技術
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6820 KB
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相關資料:
加工技術, 技術培訓, 培訓教材
體矽微加工技術培訓教材(PPT 52頁)內容簡介
反應離子刻蝕
等離子腐蝕
反應離子深刻蝕
Bosch工藝和Cryogenic工藝
離子濺射刻蝕
反應氣體刻蝕
其它物理刻蝕技術
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