基於激光誘導向前轉移技術直寫布線工藝研究(PDF 55頁）

3.1 前言
3.2 激光微加工平台簡介
3.2.1 355nm 紫外激光微加工工作平台簡介
3.2.2 1064nmNd：YAG 激光器微加工平台簡介
3.3 金屬膜層轉移實驗中樣品的控製
4.2 使用355nm 紫外激光器進行薄膜向前轉移實驗研究
4.2.1 激光平均功率對轉移實驗結果的影響
4.2.2 掃描速度對轉移實驗結果的影響
4.2.3 加工次數對轉移實驗結果的影響
4.2.4 激光重複頻率對轉移實驗結果的影響
4.2.5 離焦量對轉移實驗結果的影響
4.2.6 接收距離對轉移實驗結果的影響
4.3 使用1064nmNd：YAG 激光器進行薄膜向前轉移實驗研究
5.1 前言
5.2 使用355nm 紫外激光器進行厚膜向前轉移實驗研究
5.3 使用1064nmNd：YAG 激光器進行厚膜向前轉移實驗研究
5.4 轉移沉積金屬導線質量的測量與評估
5.4.1 轉移的金屬導線電阻率的測量
5.4.2 金屬導線與接收基片之間結合力的測試
5.5 利用激光誘導向前轉移工藝製作空芯平麵矩形微電感
5.6 本章小結
圖 4-10 加工轉移次數分別為1 次和11 次時，沉積轉移得到的金屬銀膜的形貌圖
圖 4-11 激光重複頻率與誘導轉移閾值功率的變化規律
圖 4-12 離焦量為4.5mm 時，沉積得到的金屬導線形貌圖
圖 4-13 激勵電流為15A，轉移沉積得到的金屬導線的形貌圖
圖 4-3 激光平均功率為4W 時，燒蝕轉移後金屬銀膜的形貌圖
圖 4-9 是在不同的激光平均功率下，在接收矽片上沉積轉移後得到的金屬導線的
圖 5-1 激光功率為5W 時的轉移燒蝕原膜的形貌圖
圖 5-3 激光平均功率為4.5W，激光直寫製備的最小線寬導線
圖1-1 激光誘導向前轉移技術原理圖
圖1-2 激光誘導轉移沉積的形貌圖
圖1-3 本課題的技術路線圖
圖2-1 利用銀鏡反應預置的金屬膜層
圖2-1 就是采用實驗方案一，選用葡萄糖作為還原劑在玻璃基片表麵預置的金屬
圖2-2 旋塗導電銀漿料的玻璃基片
圖2-2 是我們在方形玻璃片上旋塗導電銀漿料的製備的金屬銀膜層。左圖是燒結
圖3- 4 金屬膜層轉移實驗中樣品控製示意圖
圖3-1 355nm 紫外激光微加工設備實物圖
圖3-2 1064nmNd：YAG 激光器微加工設備實物圖
圖3-3 激光器輸出功率與其激勵電流強度的對應關係
圖4-1 就是相鄰兩個激光脈衝作用沉積點的示意圖。
圖4-1 相鄰兩個脈衝之間的間隔示意圖
圖4-10 是采用頻率f=25kHz，掃描速度為800mm/s，激光平均功率為1.5w，在
圖4-2 相鄰脈衝之間維持不同的搭界率的示意圖
圖4-4 激光平均功率與原膜轉移線寬的變化關係
圖4-5 不同功率（從左至右依次為5W，4W，3W，2W）下直寫導線的形貌圖
圖4-6 激光功率為3W 與4W 時沉積導線的形貌圖
圖4-7 金屬導線寬度與激光平均功率的之間的關係圖
圖4-8 就是激光平均功率為1.5W 時，金屬原膜被激光燒蝕後的形貌圖。從圖中
圖4-8 激光平均功率1.5W，金屬原膜被燒蝕轉移的形貌圖
圖4-9 不同功率參數下轉移沉積得到的導線的形貌圖
圖5-2 不同功率參數下，轉移沉積導線的外觀形貌圖
圖5-4 金屬導線寬度與激光平均功率的之間的關係圖
圖5-5 激光電流為19A 時，轉移沉積金屬導線的形貌
圖5-6 金屬銀線橫截麵的掃描輪廓圖
圖5-7 測試專用膠帶上附著的金屬銀顆粒
圖5-8 激光誘導向前轉移直寫的空芯平麵電感
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