深亞微米工藝下的電路設計討論(PDF 52頁）

? 按比例縮小原理
? 短溝道效應
? 深亞微米工藝下的設計討論
? SOC設計
理想的晶體管按比例縮小
– 縱向和橫向尺寸均縮小α倍(α>1)
– 電源電壓和晶體管閾值電壓降低α倍
– 所有摻雜濃度增大α倍
? 恒電場按比例縮小(constant-field scaling)
? 縮小速度遵循摩爾定律
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