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集成電路工藝技術講座(PDF 72頁）

所屬分類：
工藝技術
文件大小：
1589 KB
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集成電路工藝, 工藝技術講座
集成電路工藝技術講座(PDF 72頁）內容簡介
? 金屬化概論
? 金屬化係統
? PVD形成金屬膜－蒸發和濺射
? 平坦化和先進的互連工藝
..............................

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