半導體集成電路原理教材(PPT 55頁)

第一章 集成電路製造工藝
集成電路製造工藝分類
§1-1 雙極型集成電路工藝(典型的PN結隔離工藝)(P1~5)
1.1.1 工藝流程(三極管和一個電阻）
1.1.1 工藝流程（續1）
1.1.2 光刻掩膜版彙總
1.1.3 外延層電極的引出
1.1.4 埋層的作用
1.1.5 隔離的實現
1.1.6 其它雙極型集成電路工藝簡介
1.1.7 習題
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