集成電路的基本製造工藝教材(PPT 67頁)

在矽襯底上製作MOS晶體管
自對準工藝
完整的簡單MOS晶體管結構
有源區
Example: Intel 0.25 micron Process
Interconnect Impact on Chip
深亞微米CMOS晶體管結構
BiCMOS工藝分類
以P阱CMOS工藝為基礎的BiCMOS工藝
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