半導體製造中具有重入的雙臂組合設備的調度(PDF 89頁)

目錄????一V
Content．???．?．．．??．VHI
第一章緒論?～l
1．1課題研究背景??l
1．1．1半導體製造產業的發展現狀???．1
1．1．2晶圓製造工藝概述??．3
1．2組合設備調度問題概述???4
1．2．1自動化組合設備???．4
1．2．2組合設備係統控製複雜性分析??．．5
1．2．3國內外研究現狀???．6
1．3相關調度問題研究．7
1．4本文研究內容和組織結構??9
1．4．1論文的研究內容???．．9
1．4．2論文的組織結構????9
1．5本章小結???．．10
第二章組合設備的Petri網建模??．11
2．1係統的Petri網建模????．11
2．1．1帶重入工藝的晶圓加工過程描述?11
2．1．2有限容量的Petr i網?11
2．2對機械手的建模?12
2．3對加工模式的建模13
2．4對活動時間的建模17
2．5本章小結????18
第三章帶重入加工的雙臂組合設備的調度分析?19
3．1基於3一晶圓調度方法的分析．19
V
廣東工業大學碩士學位論文
3．1．1基於3一晶圓調度方法下機械手和係統狀態描述????一19
3．1．2基於3一晶圓調度方法下係統的生產周期分析一20
3．2基於2一晶圓調度方法的分析．22
3．2．1基於2一晶圓調度方法下機械手和係統狀態描述????．．22
3．2．2基於2一晶圓調度方法的仿真算法開發???一23
3．3本章小結????28
第四章基於3一晶圓調度方法的仿真模型建立?一29
4．1 eM-P I ant簡介?．29
4．2 3一晶圓調度方法仿真模型?一30
4．2．1模型框架?30
4．2．2初始狀態模擬????32
4．2．3機械手控製34
4．2．4跚控製出入控製??一37
4．2．5係統加工周期記錄??39
4．2．6參數化界麵40
4．3仿真實例????40
4．4本章小結????4l
第五章基於2一晶圓調度方法的仿真模型建立?一42
5．1基於eM-P I ant的仿真模型建立????42
5．1．1調度1仿真模型建立?42
5．1．2調度2仿真模型建立?52
5．2仿真實例????55
5．3本章小結????57
第六章實例分析???．．58
6．1實例一．58
6．2實例二59
b．3實例三6l
6．4實例四62
6．5實例五63
vI
目錄
6．6實例六?65
6．7本章小結???．．66
總結與展望?．67
總結???．67
展望???．67
參考文獻???69
攻讀學位期間發表的論文．74
學位論文獨創性聲明??．．75
致謝．．76
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