LED工藝簡介(PPT 48頁)

LED工藝簡介
講師：
LED白光
LED的前程
LED芯片的實物照片
襯底片
MOCVD外延
MOCVD機台
第一步 清洗
第二步n區光刻
爆光機
Plasmalab System 133
去膠
p電極蒸發
蒸發機台
P電極光刻
P電極腐蝕
P電極合金
合金爐
N電極光刻
N電極蒸發
N剝離
N退火
P壓焊點光刻
P壓焊點蒸發
P壓焊點剝離
鈍化層沉積
PECVD機台
鈍化層光刻
鈍化層刻蝕
鈍化層去膠
中道終測檢驗
減薄
劃片
裂片
擴膜
劃片,裂片工作流程圖
測試分檢
測試機
LED:What’s inside?
交通燈
全彩顯示
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