單靶鍍膜工藝操作規範(doc 4頁)

單靶鍍膜工藝操作規範目錄:
一、適用範圍
二、本規程規定了單靶鍍膜操作的技術要求和操作步驟。
三、技術要求
四、操作步驟
五、質量標準
六、檢查方法

單靶鍍膜工藝操作規範內容提要:
適用範圍
本規程規定了單靶鍍膜操作的技術要求和操作步驟。
技術要求
2.1鋁靶的直徑≥60mm；
2.2壓縮空氣的壓強應達到0.4～0.6Mpa；
2.3鍍膜操作室的室溫小於35℃，相對濕度小於70%RH；
2.4鍍室內清潔，無灰塵、異物。
操作步驟
3.1工作準備
3.1.1打開壓縮空氣閥門，檢查空氣壓強是否達到0.4～0.6Mpa。
3.1.2打開冷卻循環水閥門，同時檢查通水狀況是否良好，各水管的接頭和閥門有
無泄漏。
3.1.3檢查氬氣、氮氣兩種氣體的聯接狀況，看接頭是否有泄漏,分別打開氬氣、氮氣的總閥。
3.2開機
3.2.1開啟本機電源。
3.2.2將機箱控製麵板上的電源開關置於“開”的位置，手動狀態下，打開“機械泵”，延時1分鍾後，壓差閥自動打開，按下“前級閥”按鈕，當電離計顯示數值低於8Pa時，開“機械泵擴散泵”，擴散泵加熱。擴散泵加熱溫度超過160℃後，方可進行正常的操作。
3.2.3緩慢調節氬氣、氮氣減壓閥，得氬氣、氮氣的低壓表讀數控製在0.1-0.2MPa之間。
3.2.4打開質量流量計顯示器電源開關。
3.2.5打開計算機電源，輸入工藝卡片中規定的工藝參數。
3.2.6打至 “放氣”按鈕，放完氣後打到“停”，然後打開鍍室門。
3.3裝管
3.3.1打開轉架電源開關，將合格內管插入轉架插杆。裝管時，預先戴好一次性手套，外層再戴上幹淨的細紗手套，戴好之後不許觸摸其他物品，如門、車把、桌椅等。
3.3.2玻璃管全部插滿插杆後，觀察每支管子的自轉狀態，確定玻璃管間無碰撞後，關閉轉架電源開關，關閉鍍室門。
3.4粗抽真空
將“前級”撥到“停”撥到“粗抽”係統進入“粗抽”，複合計開始顯示讀數。
3.5精抽真空
當複合計顯示值小於8Pa時，將按鈕由“粗抽”撥到 “停”然後到“前級”再到“高閥”。
3.6濺射鍍膜
3.6.1當高真空達到工藝設定（複合計顯示值）後，將按鈕達到“光欄”按下“氬氣”開關將質量流量計達到“自動”“閥控”。開始進氬氣。
3.6.2打開轉架旋轉電源開關、慢慢調至80±10V。
3.6.3當電離計顯示到工藝壓強時，打開靶電源，調節電流旋鈕至規定電流值。直到電壓達到400V，按下“運行”開始鍍膜。
3.6.4當鍍膜機處於濺射工作狀態時，操作工隨時觀察設備的運行狀態，注意各儀器儀表顯示的數值變化，嚴格按要求填寫《鍍膜操作記錄》。
3.7裝配支架
3.7.1裝填支架前，檢查支架清洗是否幹淨，焊接是否牢固。
3.7.2支架裝填到外管的圓頭部，裝填時應避免劃傷外管的內壁。裝填支架必需使用專用工具並配戴一次性手套，不得用手直接接觸支架以免造成汙染。
3.8終止濺射鍍膜
計算機程序運行到1秒後，執行如下操作：
當鍍室內真空度達到9.0×10-2Pa以上後，將“高閥”關閉，達到“前級”狀態，將按鈕達到“放氣”放完氣後達到“停”
3.9出管
3.9.1取管：手握已鍍膜管下部垂直往上提，使管口脫離轉架軸，將鍍膜管移出鍍
室。
3.9.2內外管裝配：手握已鍍膜內管，管口向上，管身豎直放入外管中；放入時應注意避免內管的圓頭劃傷外管內壁，使其輕緩下落，直至接觸到支架。內管裝入外管後，按住內管端口往下輕壓，使支架包住圓頭。
3.10連續工作時重複3.3～3.9的操作步驟。
3.11產品經自檢合格後，由操作工在內管管口部位印上工號，轉下工序。
3.12 關機
當鍍膜機要停止工作時，執行如下機程序：
3.12.1在鍍膜機停止工作前，先關鍍室門，打開 “粗抽”按鈕，將鍍室真空度抽到8Pa以下。
3.12.2然後將“粗抽”撥到“停”撥到“前級”，將按鈕“機械泵擴散泵”撥到“機械泵”，冷卻（60℃之後）關掉“前級”關掉“機械泵”。
3.12.3關兩氣總閥（高壓、低壓）。
3.12.4關循環水，關電源總開關。
3.12.5若設備關機後長期停放，則需放淨水套及盤管內的循環水，並用高壓空氣吹幹。
4. 質量標準
整體膜色均勻，管口無明顯變淺區，膜層無劃傷、無脫落；內外管及卡子裝配到位。

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