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智能微係統的製造技術(PPT 190頁)

所屬分類：
智能製造
文件大小：
5698 KB
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相關資料：
製造技術
智能微係統的製造技術(PPT 190頁)內容簡介
主要內容
第1節MEMS的材料
第2節半導體微加工技術
第3節矽材料微機械加工技術
第4節LIGA加工技術
第5節其它微細加工技術

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