特種氣體係統工程技術規範(DOC 31頁)

1兩種或兩種以上的氣體有害物混合後能引起燃燒或爆炸時；
1壓力試驗采用氣壓試驗，試驗氣體宜采用高純氮氣或氬氣。
1雙套管焊接施工時，先實施內管的焊接，在焊口處必須安裝滑套；
1噴水強度8L/min.m2，保護麵積160m2。
1在潔淨房內施工作業時，應在前室除去外包裝，
在臨時潔淨加工場加工完成的組件應用塑料薄膜包裝，用夾具定位後進行預連接；
1在非潔淨室全數目測檢查管道外包裝，不得有破損、變形；
1室內潔淨度不低於7級，濕度不高於60%；
1室外施工時，應將帶包裝的管道、管件搬至臨時潔淨加工場加工；
表3.1.3生產廠房內最大允許儲存量
表5.2.2矽烷站與其他建築物、構築物、道路的防火間距（m）
表6.3.3小尺寸軌道壁厚要求
表6.4.1特種氣體管路標示顏色
表6.6.3標示參數與管徑的對照
附錄A電子工業用特種氣體的主要物化性質（單一氣體）
附錄B電子工業用特種氣體舉例
附錄Ｃ特種氣體管道氦檢漏方法
附錄Ｄ.1壓力測試記錄表
附錄Ｄ.2氦檢漏測試記錄表
附錄Ｄ.3顆粒測試記錄表
附錄Ｄ.4水分測試記錄表
附錄Ｄ.5氧分測試記錄表
附錄Ｄ係統驗收測試記錄表
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