靜電氣的概念與相應對策(ppt 34頁)

靜電氣的概念與相應對策目錄：
1.什麼是靜電氣？
2.帶電的種類和MECHANISM
3.帶電例
4.ESDMODEL
5.半導體基本內壓和用語別電阻植
6.靜電氣對策基本思想
7.Shieldingbag基本構造
8.靜電氣管理必須計策器
9.靜電氣計策的過去和今天
10.靜電氣管理Manual
11.靜電氣管理處理Flow
12.溫,濕度和靜電氣關係
13.電烙鐵電阻測定
14.靜電氣和COULOMB
15.導電MAT的構造
16.導電MAT的作用
17.接地方法
18.等離子的原理
19.等離子的管理方法
20.理想的作業工程

靜電氣的概念與相應對策內容提要：
對靜電敏感的電子部品或基板的搬運和保管時使用的ShieldingBag一般如下圖
3層構成的.
那三層是：金屬Coating層,Polyester層,Polyethylene層.
金屬層(表麵電阻約10-2?/Sq)把發生的靜電感應反應在100micro-sec以內，
防止被保管部品受到破壞；絕緣層構成的Polyester層不僅防止因靜電氣的
直接放電受到的破壞，而且經常防止Bag最下麵一層Polyethylene層的
Anti-Static物質是化學合成物引起的Bag內部摩擦產生的靜電氣.
(1)測DEVICE等放電電荷量的CoulombMeter
(2) 測人體的帶電電位的人體電位計
(3)測Work-Bench及帶電狀態的Work-BenchMonitor
(4)調查等離子的製電效果，
離子Balance特性的大氣離子Monitor(CPM)
作業者的帶電防止對策：
人體也算是導體，所以接地會防止靜電。但是一般作業者在一定的場所步行，作業等使他們繼續帶電，還因為靜電感應所帶電。用以下方法可以防止帶電。
①著用帶點防止作業鞋(導電鞋)來防止人體帶的靜電氣.
(但,導電鞋底在幹淨的狀態下才起作用)
②作業者基本上在一定的位置作業時,利用靜電環直接接地.此時，為了防止
漏電造成的觸電，加安全電阻(1MΩ)接地.
③因作業服等衣服帶電時，著用實施帶電防止處理加工的帶電防止作業服等。

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