UPW純水係統相關知識簡介(ppt 27頁)

UPW純水係統相關知識簡介內容提要：
主要用途（GMIC）：
超純水主要供集成電路芯片生產的清洗用水，且用量較大。另外還提供一些生活用水，以及PCW（工藝冷卻水係統）、膨脹水箱、加濕器等都會用到不同程度的純水。
為了滿足工藝設備對水質的要求，必須考慮輸送材料、流速、合理的輸送係統的設計
MMF和AC：
MMF(多介質過濾器)和AC（活性炭過濾器）是作為RO的預處理，對RO膜起保護作用。
預處理原水首先加入絮凝劑和混凝劑，可以降低渾濁度（使微小顆粒凝聚變大，重力沉降有助於過濾）,去除懸浮物和膠體等雜質。
加入NaHSO3去除餘氯（將氯還原），防止RO膜被氧化，活性炭也有吸附餘氯的作用。
為了提高出水質量和加強對RO膜的保護，現在通常用UF作為預處理 。
超濾是一種以篩分為分離原理，以壓力為推動力的膜分離過程，過濾精度在0.005-0.01μm範圍內， 可有效去除水中的微粒、膠體、細菌墊層及高分子有機物質。可廣泛應用於物質的分離、 濃縮、提純。超濾過程無相轉化，常溫操作，對熱敏性物質的分離尤為適宜，並具有良好的耐溫、耐酸堿和耐氧化性能（可以耐受高濃度的餘氯和過氧化氫溶液），能在60℃ 以下，pH為2-11的條件下長期連續使用。
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