微型機械加工技術發展現狀、趨勢與關鍵技術(doc 8頁)

微型機械加工技術發展現狀、趨勢與關鍵技術內容提要：
微型機械加工技術概念：
微型機械加工或稱微型機電係統或微型係統是隻可以批量製作的、集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控製電路、甚至外圍接口、通訊電路和電源等於一體的微型器件或係統。其主要特點有：體積小（特征尺寸範圍為：1μm-10mm）、重量輕、耗能低、性能穩定；有利於大批量生產，降低生產成本；慣性小、諧振頻率高、響應時間短；集約高技術成果，附加值高。微型機械的目的不僅僅在於縮小尺寸和體積，其目標更在於通過微型化、集成化、來搜索新原理、新功能的元件和係統，開辟一個新技術領域，形成批量化產業。
微型機械加工技術是指製作為機械裝置的微細加工技術。微細加工的出現和發展早是與大規模集成電路密切相關的，集成電路要求在微小麵積的半導體上能容納更多的電子元件，以形成功能複雜而完善的電路。電路微細圖案中的最小線條寬度是提高集成電路集成度的關鍵技術標誌，微細加工對微電子工業而言就是一種加工尺度從微米到納米量級的製造微小尺寸元器件或薄模圖形的先進製造技術。目前微型加工技術主要有基於從半導體集成電路微細加工工藝中發展起來的矽平麵加工和體加工工藝，上世紀八十年代中期以後在LIGA加工（微型鑄模電鍍工藝）、準LIGA加工，超微細加工、微細電火花加工（EDM）、等離子束加工、電子束加工、快速原型製造（RPM）以及鍵合技術等微細加工工藝方麵取得相當大的進展。

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