材料與薄膜相關資料(doc 6頁)

材料與薄膜相關資料內容提要：
1真空度與壓強的關係，粗，低，高，超高真空如何劃分。托、大氣壓之間的關係
答：壓強越低意味著單位體積中氣體分子數愈少，真空度愈高，反之真空度越低則壓強就越高。
粗真空：（1X105~1X102Pa）低真空（1X102~1X10-1 Pa）高真空（1X10-1~1X10-6 Pa）
超高真空（<1X10-6 Pa） 1托＝1/760大氣壓
2為氣體臨界溫度。氣體與蒸氣區別、平均自由程、餘弦散射定律
答：氣體臨界溫度：對於每種氣體都有一個特定的溫度．高於此溫度時．氣體無論如何壓縮都不會液化，這個溫度稱為該氣體的臨界溫度。
氣體與蒸氣區別：溫度高於臨界溫度的氣態物質稱氣體，低於臨界溫度的氣態物質稱為蒸氣
平均自由程：每個分子在連續兩次碰撞之間的路程稱為“自由程”，這是一個描述氣體性質的微觀參量，其統計平均值稱為“平均自由程”。
餘弦散射定律：碰撞於固體表麵的分子，它們飛離表麵的方向與原入射方向無關．並按與表麵法線方向所成角度θ的餘弦進行分布。
3簡述旋片機械泵、擴散泵、分子泵原理及真空範圍使用時是否需配前級泵
答：旋片機械泵原理：通過懸片的轉動將待抽真空的容器中的氣體吸入並壓縮排出機械泵，通過此原理不斷循環，從而使容器達到真空。
真空範圍：1大氣壓——10-2pa 不需要使用前級泵
擴散泵：擴散泵是利用被抽氣體向蒸氣流擴散的現象來實現排起作用的。
真空範圍：1——10-6Pa 需要前級泵
分子泵：靠高速轉動的轉子碰撞氣體分子並把它驅向排氣口，由前級泵抽走，而使被抽容器獲得超高真空。
真空範圍：1——10-8Pa 需要前級泵
4簡述熱阻、熱偶、熱陰極電離真空計原理及測量原理
答：熱阻真空計原理：通過測量熱阻絲的電阻隨溫度變化，建立電阻與壓強的關係，間接確定壓強，從而實現對真空的測量。 104 Pa——10-2Pa
熱偶真空計原理：低壓強下氣體熱傳導與壓強有關，用熱電偶測量熱絲溫度，建立氣體壓強與熱偶電動勢之間的關係，從而確定真空室壓強。 102 Pa——10-1Pa
熱陰極電離真空計原理：電子在加速電場中獲得能量，參與氣體分子碰撞將發生電離，產生正離子和次級電子，正離子數正比於氣體密度，即在一定溫度下正比於氣體壓強，根據離子電流大小，來測壓強。 10-1Pa——10-6Pa
5典型真空係統組成是什麼？何為極限真空及抽氣速率
答：典型真空係統組成：待抽空的容器(真空室)、獲得真空設備(真空泵)、測量真空的器具(真空汁)以及必要的管道、閥門和其他附屬設備。
極限真空：係統所能達到的最低壓強。
抽氣速率：在規定壓強下單位時間所抽出氣體的體積。

..............................