薄膜材料物理之薄膜的形成(ppt 25頁)

薄膜材料物理之薄膜的形成內容提要：
小島階段—成核和核長大：
透射電鏡觀察：大小一致(2-3nm)的核突
然出現.平行基片平麵的兩維大於垂直方向
的第三維。
說明：核生長以吸附單體在基片表麵的擴散，
不是由於氣相原子的直接接觸。
結合階段
兩個圓形核結合時間小於0.1s,並且結合後增大了高度，減少了在基片所占的總麵積。而新出現的基片麵積上會發生二次成核，複結合後的複合島若有足夠時間，可形成晶體形狀，多為六角形。核結合時的傳質機理是體擴散和表麵擴散（以表麵擴散為主）以便表麵能降低。
核結合時的傳質機理是體擴散和表麵擴散（以表麵擴散為主）以便表麵能降低。在結合之初，為了降低表麵能，新島的麵積減少，高度增加。根據基片、小島的表麵能和界麵能，小島將有一個最低
能量溝形，該形狀具有一定的高經比。

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