汙染控製、芯片製造基本工藝概述(pdf 74頁)
汙染控製、芯片製造基本工藝概述(pdf 74頁)內容簡介
一、芯片製造中的汙染源
二、潔淨室的建設
三、矽片清洗
四、芯片製造基本工藝概述
五、工藝良品率
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二、潔淨室的建設
三、矽片清洗
四、芯片製造基本工藝概述
五、工藝良品率
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