潔淨室及相關受控環境檢測方法(DOC 60頁)

前言
引言
1範圍
2引用標準
3術語與定義
3.1概述
3.2空氣懸浮粒子測量
3.3空氣過濾器與係統
3.4氣流
3.5靜電測量
3.6測量儀器與測量條件
3.7占用狀態
4檢測方法
4.1潔淨室檢測
4.2原理
5檢測報告
附件A（資料）各種檢測的選擇和實施順序
附件B（資料）檢測方法
附件C（資料）檢測儀器
文獻（略）
第1部分：空氣潔淨度分級
第2部分：證明一直符合ISO14644-1的檢測和監測技術條件
第3部分：檢測方法
第4部分：設計、建造和啟動
第5部分：運行
第7部分：隔離裝置（潔淨風罩、手套箱、隔離器、微環境）
第8部分：空氣分子汙染分級
正在編寫的部分有：
第6部分：詞彙
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