無塵室認證與測試規範(doc 41頁)

無塵室認證與測試規範目錄：
一、無塵室測試規範
二、無塵室常用名詞
三、無塵室等級定義
四、無塵室測試範圍
1.1、氣流量測
一、濾網速度與均勻度量測
二、濾網風量與均勻度量測
三、氣流平行度量測
1.2、壓力量測
1.3、濾網泄漏測試
一、氣膠光度計測試法
二、微粒計數器測試法
三、全效率測試法
四、外氣測試法
1.4、潔淨度量測
一、說明
二、測試儀器
三、測試步驟：
四、驗收標準：
五、信賴度上限分析：
1.5、溫濕度量測
一、說明：
二、測試儀器：
三、測試程序：

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