多晶矽產品的用途和生產工藝介紹(doc 47頁)

多晶矽產品的用途和生產工藝介紹目錄：
一、多晶矽產品的用途
二、國內外多晶矽生產情況與市場分析
三、多晶矽生產方法
四、多晶矽生產的主要特點
五、多晶矽生產的主要工藝過程

多晶矽產品的用途和生產工藝介紹內容提要：
什麼是多晶矽？
我們所說的多晶矽是半導體級多晶矽，或太陽能級多晶矽，它主要是用工業矽或稱冶金矽（純度98-99%）經氯化合成生產矽氯化物，將矽氯化物精製提純後得到純三氯氫矽，再將三氯氫矽用氫進行還原生成有金屬光澤的、銀灰色的、具有半導體特性產品，稱為半導體級多晶矽。
純度表示法
半導體的純度表示與一般產品的純度表示是不一樣的，一般產品的純度是以主體物質的含量多少來表示，半導體的純度是以雜質含量與主體物質含量之比來表示的
1），外購的工業矽純度
外購的工業矽純度是百分比，1個九，“1N”，98%， 兩個九，“2N”，99%，是指扣除測定的雜質元素重量後，其餘作為矽的含量（純度）。如工業矽中Fe≤0.4%,AL≤0.3%,Ca≤0.3%,共≤1%, 則工業矽的純度是：（100-1）X100%=99% 。
2), 半導體純度
工業矽中的B含量是0.002%(W)，則工業矽純度對硼來說被視為99.998%，即4N（對B來說）。
半導體矽中的B含量，如P型電阻率是3000Ω.Cm時，查曲線圖得B的原子數為4.3X1012原子/Cm3，則半導體的純度是：4.3X1012 /4.99X1022=0.86X10-10=8.6X10-11(~11N，0.086PPba),或(4.3X1012 X10.81) /(4.99X1022X28)=0.33X10-10=0.033PPbw=3.3X10-11(~11N)。
對B來說，從工業矽的4N提高到11N，純度提高7個數量級（10000000，千萬倍）即B雜質含量要降低6個數量級（1000000，百萬倍），因此生產半導體級多晶矽是比較困難的。

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