常壓輝光等離子體催化CH4轉化製C2烴在線診斷探討(pdf 7頁)

常壓輝光等離子體催化CH4轉化製C2烴在線診斷探討內容提要：
發射光譜方法，作為一種非接觸式測量技術，是有效的等離子體診斷方法，町以有效地檢測等離子體中電子激發態
物種的種類、濃度及電子溫度與密度等[1一]，並對等離子體體係不產生幹擾。對於大氣壓等離子體，傳統的適用於低氣
壓等離子體診斷的靜電探針的方法是不適用的。有關發射光譜原位診斷技術用於等離子體體係的研究報道不斷增多，但
主要集中於對等離子體條件下cI-h-Hz製金剛石薄膜沉積體係的研究【3“J，近年來對於用CH一製備C2烴的研究逐漸增
加Is．s]。通過發射光譜測最，不僅能獲得等離子體的各種原子，分子和離子成分的相對含量的信息，還可以獲得等離子
體密度和激發溫度等重要信息。本文利用發射光譜診斷法對旋轉電極等離子體反應器進行r在線診斷。本文的研究不僅
為這種新型旋轉螺旋狀電極等離子體放電反應器催化甲烷轉化提供J二藝參數數據揭示其隨各種物理參數的變化規
律【7’8]，而且結合等離子體在線診斷研究內在反應的機理，從等離子體內部探索反應器和化學反應的特點。
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