論微噴砂預處理對硬質合金上沉積類金剛石薄膜結合力的影響(pdf 6頁)

論微噴砂預處理對硬質合金上沉積類金剛石薄膜結合力的影響內容提要：
針對鍍前不能使用高能離子轟擊清洗的硬質合金工件，采用正交法設計微噴砂工藝，用320 目白剛玉對YG6
硬質合金樣品進行微噴砂預處理後，利用陽極層流型氣體離子源和非平衡磁控濺射複合技術製備梯度過渡類金剛石薄
膜。結果表明：類金剛石薄膜厚度為2.7 μm，平均顯微硬度高達2 677 HV0.025,15，平均摩擦因數低至0.105；未預處理
的硬質合金樣品的膜/基結合力為30 N，而微噴砂預處理後的樣品，其膜/基結合力顯著提高，最高可達55.7 N；微噴
砂各個因素對膜/基結合力的影響程度不同，其中噴砂壓力是主要影響因素，噴砂距離和噴砂時間影響較小；優化後的
微噴砂預處理工藝參數是：噴砂壓力：0.10 MPa；噴砂距離：75 mm；噴砂時間：120 s。
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