高端無機氟精細品市場現狀及競爭力分析(pdf 77頁)

高端無機氟精細品市場現狀及競爭力分析內容提要：
1 氟氣 ? 利用氟可製成多種具有強氧化性的氟化劑，如高 氟氣 活性的ClF3和BrF3以及比較溫和的IF5等。若直接
使用氟氣作為氟化劑，則可在氟氣中適量加入氮
氣或氦氣作稀釋緩解劑 氣或氦氣作稀釋緩解劑。
? 現場氟氣產生的方式為半導體業界提供了一個對
於傳統的全氟化物為主的腔室清除法有市場潛力 於傳統的全氟化物為主的腔室清除法有市場潛力
的替代方法。此法已趨成熟，然而仍具有許多新
挑戰 如安全性 穩定性 純度和成本考量 采 挑戰。如安全性、穩定性、純度和成本考量。采
用一體化氟氣供應策略對於追求安全、穩定供氟
氣和低成本的於客戶，是一種有別於傳統標準腔 氣和低成本的於客戶，是 種有別於傳統標準腔
體清除化學的有效替代方法。
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