項目管理及薄膜太陽電池製造工藝(PPT 63頁)

項目管理及薄膜太陽電池製造工藝(PPT 63頁)目錄：

一、矽基薄膜材料及其製備
二、非晶矽薄膜太陽電池製造工藝
三、非晶矽/微晶矽薄膜太陽電池製造工藝
四、碲化鎘薄膜太陽電池製造工藝
五、銅銦镓硒薄膜太陽電池製造工藝

項目管理及薄膜太陽電池製造工藝(PPT 63頁)簡介：

一、矽基薄膜的物性及分類
矽基薄膜就是在襯底上沉積矽元素製成的矽薄膜材料。通常矽基薄膜太陽電池分為非晶矽、微晶矽、多晶矽和單晶矽薄膜電池。特點如下:
非晶矽中矽原子呈現無序排列，相應的薄膜中存在懸掛鍵。
微晶矽中納米量級的矽晶粒(小於1μm)鑲嵌在非晶矽中，晶粒邊界處的原子呈無序態。
多晶矽主要由大晶粒(1μm—1mm)構成，並且沒有非晶相存在。
單晶矽具有完整的晶體結構，是理想的半導體材料，但其製備成本也最高。
二、矽基薄膜的製備方法
三、多晶矽基薄膜的間接製備法
在矽基薄膜的各種直接製備法中，通過調節製備過程中的關鍵參數，可以製備出非晶矽和多晶矽基薄膜。多晶薄膜也可以通過非晶薄膜再結晶方法。固相晶化法，激光誘導退火，金屬誘導晶化。

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