潔淨廠房及空調淨化係統運行確認方案(DOC 32頁)

6.1 概述
6.2 運行確認內容
6.2.1 清潔確認
6.2.10 互鎖確認
6.2.11 自淨時間測定
6.2.2 空調機組運行確認
6.2.3 高效過濾器的安裝
6.2.4 風量調整
6.2.5 高效過濾器檢漏
6.2.6 風壓測試
6.2.7 照度檢測
6.2.8 潔淨區空氣流向的檢測
6.2.9 噪聲檢測
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